इलेक्ट्रॉनिक इंजीनियरिंग प्रणालियों में उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों का अनुप्रयोग

909 प्रोजेक्ट वेरी लार्ज स्केल इंटीग्रेटेड सर्किट फैक्ट्री नौवीं पंचवर्षीय योजना के दौरान मेरे देश के इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग की एक प्रमुख निर्माण परियोजना है, जो 0.18 माइक्रोन की लाइन चौड़ाई और 200 मिमी व्यास वाले चिप्स का उत्पादन करती है।

बहुत बड़े पैमाने के एकीकृत सर्किट की विनिर्माण प्रौद्योगिकी में न केवल माइक्रो-मशीनिंग जैसी उच्च परिशुद्धता वाली प्रौद्योगिकियां शामिल होती हैं, बल्कि गैस की शुद्धता पर भी उच्च आवश्यकताएं होती हैं।
परियोजना 909 के लिए थोक गैस की आपूर्ति संयुक्त राज्य अमेरिका की प्रैक्सेयर यूटिलिटी गैस कंपनी लिमिटेड और शंघाई में संबंधित पक्षों के बीच एक संयुक्त उद्यम द्वारा प्रदान की जाती है, ताकि संयुक्त रूप से गैस उत्पादन संयंत्र स्थापित किया जा सके। गैस उत्पादन संयंत्र 909 परियोजना कारखाने की इमारत से सटा हुआ है, जो लगभग 15,000 वर्ग मीटर के क्षेत्र को कवर करता है। विभिन्न गैसों की शुद्धता और उत्पादन आवश्यकताएँ

उच्च शुद्धता वाला नाइट्रोजन (PN2), नाइट्रोजन (N2), और उच्च शुद्धता वाला ऑक्सीजन (PO2) वायु पृथक्करण द्वारा उत्पादित किया जाता है। उच्च शुद्धता वाला हाइड्रोजन (PH2) इलेक्ट्रोलिसिस द्वारा उत्पादित किया जाता है। आर्गन (Ar) और हीलियम (He) को आउटसोर्स से खरीदा जाता है। प्रोजेक्ट 909 में उपयोग के लिए अर्ध-गैस को शुद्ध और फ़िल्टर किया जाता है। विशेष गैस बोतलों में आपूर्ति की जाती है, और गैस बोतल कैबिनेट एकीकृत सर्किट उत्पादन संयंत्र की सहायक कार्यशाला में स्थित है।
अन्य गैसों में स्वच्छ शुष्क संपीड़ित वायु CDA प्रणाली भी शामिल है, जिसकी उपयोग मात्रा 4185m3/h, दबाव ओस बिंदु -70°C और उपयोग के बिंदु पर गैस में कण आकार 0.01um से अधिक नहीं है। श्वास संपीड़ित वायु (BA) प्रणाली, उपयोग मात्रा 90m3/h, दबाव ओस बिंदु 2℃, उपयोग के बिंदु पर गैस में कण आकार 0.3um से अधिक नहीं है, प्रक्रिया वैक्यूम (PV) प्रणाली, उपयोग मात्रा 582m3/h, उपयोग के बिंदु पर वैक्यूम डिग्री -79993Pa। सफाई वैक्यूम (HV) प्रणाली, उपयोग मात्रा 1440m3/h, उपयोग बिंदु पर वैक्यूम डिग्री -59995 Pa। वायु कंप्रेसर कक्ष और वैक्यूम पंप कक्ष दोनों 909 परियोजना कारखाना क्षेत्र में स्थित हैं।

पाइप सामग्री और सहायक उपकरण का चयन
वीएलएसआई उत्पादन में प्रयुक्त गैस की स्वच्छता संबंधी आवश्यकताएं बहुत अधिक होती हैं।उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनेंआमतौर पर स्वच्छ उत्पादन वातावरण में उपयोग किया जाता है, और उनका स्वच्छता नियंत्रण उपयोग में आने वाले स्थान की स्वच्छता के स्तर के अनुरूप या उससे अधिक होना चाहिए! इसके अलावा, उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों का उपयोग अक्सर स्वच्छ उत्पादन वातावरण में किया जाता है। शुद्ध हाइड्रोजन (PH2), उच्च शुद्धता वाली ऑक्सीजन (PO2) और कुछ विशेष गैसें ज्वलनशील, विस्फोटक, दहन-सहायक या जहरीली गैसें हैं। यदि गैस पाइपलाइन प्रणाली को अनुचित तरीके से डिज़ाइन किया गया है या सामग्री को अनुचित तरीके से चुना गया है, तो न केवल गैस बिंदु पर उपयोग की जाने वाली गैस की शुद्धता कम हो जाएगी, बल्कि यह विफल भी हो जाएगी। यह प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करता है, लेकिन इसका उपयोग करना असुरक्षित है और स्वच्छ कारखाने में प्रदूषण का कारण बनेगा, जिससे स्वच्छ कारखाने की सुरक्षा और सफाई प्रभावित होगी।
उपयोग के बिंदु पर उच्च शुद्धता वाली गैस की गुणवत्ता की गारंटी न केवल गैस उत्पादन, शुद्धिकरण उपकरण और फिल्टर की सटीकता पर निर्भर करती है, बल्कि पाइपलाइन प्रणाली में कई कारकों से भी काफी हद तक प्रभावित होती है। यदि हम गैस उत्पादन उपकरण, शुद्धिकरण उपकरण और फिल्टर पर भरोसा करते हैं तो अनुचित गैस पाइपिंग सिस्टम डिज़ाइन या सामग्री चयन के लिए क्षतिपूर्ति करने के लिए असीम रूप से उच्च परिशुद्धता आवश्यकताओं को लागू करना गलत है।
909 परियोजना की डिजाइन प्रक्रिया के दौरान, हमने "स्वच्छ संयंत्रों के डिजाइन के लिए कोड" GBJ73-84 (वर्तमान मानक (GB50073-2001) है), "संपीड़ित वायु स्टेशनों के डिजाइन के लिए कोड" GBJ29-90, "ऑक्सीजन स्टेशनों के डिजाइन के लिए कोड" GB50030-91, "हाइड्रोजन और ऑक्सीजन स्टेशनों के डिजाइन के लिए कोड" GB50177-93, और पाइपलाइन सामग्री और सहायक उपकरण के चयन के लिए प्रासंगिक तकनीकी उपायों का पालन किया। "स्वच्छ संयंत्रों के डिजाइन के लिए कोड" पाइपलाइन सामग्री और वाल्वों के चयन को निम्नानुसार निर्धारित करता है:

(1) यदि गैस की शुद्धता 99.999% से अधिक या उसके बराबर है और ओस बिंदु -76°C से कम है, तो इलेक्ट्रोपॉलिश्ड इनर वॉल के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) या इलेक्ट्रोपॉलिश्ड इनर वॉल के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) का उपयोग किया जाना चाहिए। वाल्व एक डायाफ्राम वाल्व या बेलो वाल्व होना चाहिए।

(2) यदि गैस की शुद्धता 99.99% से अधिक या उसके बराबर है और ओस बिंदु -60 डिग्री सेल्सियस से कम है, तो इलेक्ट्रोपॉलिश्ड आंतरिक दीवार के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील ट्यूब (304) का उपयोग किया जाना चाहिए। दहनशील गैस पाइपलाइनों के लिए उपयोग किए जाने वाले बेलो वाल्व को छोड़कर, अन्य गैस पाइपलाइनों के लिए बॉल वाल्व का उपयोग किया जाना चाहिए।

(3) यदि शुष्क संपीड़ित हवा का ओस बिंदु -70 डिग्री सेल्सियस से कम है, तो पॉलिश की गई आंतरिक दीवार के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) का उपयोग किया जाना चाहिए। यदि ओस बिंदु -40 डिग्री सेल्सियस से कम है, तो OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) या हॉट-डिप गैल्वेनाइज्ड सीमलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए। वाल्व एक बेलो वाल्व या बॉल वाल्व होना चाहिए।

(4) वाल्व सामग्री कनेक्टिंग पाइप सामग्री के साथ संगत होनी चाहिए।

विनिर्देशों और प्रासंगिक तकनीकी उपायों की आवश्यकताओं के अनुसार, हम पाइपलाइन सामग्री का चयन करते समय मुख्य रूप से निम्नलिखित पहलुओं पर विचार करते हैं:

(1) पाइप सामग्री की वायु पारगम्यता कम होनी चाहिए। विभिन्न सामग्रियों के पाइपों में अलग-अलग वायु पारगम्यता होती है। यदि अधिक वायु पारगम्यता वाले पाइपों का चयन किया जाता है, तो प्रदूषण को दूर नहीं किया जा सकता है। स्टेनलेस स्टील पाइप और तांबे के पाइप वातावरण में ऑक्सीजन के प्रवेश और क्षरण को रोकने में बेहतर हैं। हालाँकि, चूँकि स्टेनलेस स्टील पाइप तांबे के पाइपों की तुलना में कम सक्रिय होते हैं, इसलिए तांबे के पाइप वातावरण में नमी को अपनी आंतरिक सतहों में घुसने देने में अधिक सक्रिय होते हैं। इसलिए, उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों के लिए पाइपों का चयन करते समय, स्टेनलेस स्टील पाइप को पहली पसंद होना चाहिए।

(2) पाइप सामग्री की आंतरिक सतह को सोख लिया जाता है और गैस के विश्लेषण पर इसका थोड़ा प्रभाव पड़ता है। स्टेनलेस स्टील पाइप को संसाधित करने के बाद, इसकी धातु की जाली में एक निश्चित मात्रा में गैस बरकरार रहेगी। जब उच्च शुद्धता वाली गैस गुजरती है, तो गैस का यह हिस्सा वायु प्रवाह में प्रवेश करेगा और प्रदूषण का कारण बनेगा। साथ ही, सोखने और विश्लेषण के कारण, पाइप की आंतरिक सतह पर धातु भी एक निश्चित मात्रा में पाउडर का उत्पादन करेगी, जिससे उच्च शुद्धता वाली गैस को प्रदूषण होगा। 99.999% या पीपीबी स्तर से ऊपर की शुद्धता वाले पाइपिंग सिस्टम के लिए, 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) का उपयोग किया जाना चाहिए।

(3) स्टेनलेस स्टील पाइप का पहनने का प्रतिरोध तांबे के पाइप की तुलना में बेहतर है, और वायु प्रवाह क्षरण से उत्पन्न धातु धूल अपेक्षाकृत कम है। सफाई के लिए उच्च आवश्यकताओं वाले उत्पादन कार्यशालाओं में 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) या OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) का उपयोग किया जा सकता है, तांबे के पाइप का उपयोग नहीं किया जाएगा।

(4) 99.999% या पीपीबी या पीपीटी स्तर से ऊपर गैस शुद्धता वाले पाइपिंग सिस्टम के लिए, या "क्लीन फैक्ट्री डिज़ाइन कोड" में निर्दिष्ट एन1-एन6 के वायु स्वच्छता स्तर वाले स्वच्छ कमरों में, अल्ट्रा-क्लीन पाइप याईपी अल्ट्रा-क्लीन पाइप्सइस्तेमाल किया जाना चाहिए। साफ “अति चिकनी आंतरिक सतह के साथ साफ ट्यूब”।

(5) उत्पादन प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली कुछ विशेष गैस पाइपलाइन प्रणालियाँ अत्यधिक संक्षारक गैसें हैं। इन पाइपलाइन प्रणालियों में पाइपों को पाइप के रूप में संक्षारण प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग करना चाहिए। अन्यथा, जंग के कारण पाइप क्षतिग्रस्त हो जाएंगे। यदि सतह पर जंग के धब्बे होते हैं, तो साधारण सीमलेस स्टील पाइप या जस्ती वेल्डेड स्टील पाइप का उपयोग नहीं किया जाना चाहिए।

(6) सिद्धांत रूप में, सभी गैस पाइपलाइन कनेक्शन वेल्डेड होने चाहिए। चूंकि गैल्वनाइज्ड स्टील पाइप की वेल्डिंग गैल्वनाइज्ड परत को नष्ट कर देगी, इसलिए साफ कमरों में पाइप के लिए गैल्वनाइज्ड स्टील पाइप का उपयोग नहीं किया जाता है।

उपरोक्त कारकों को ध्यान में रखते हुए, &7& परियोजना में चयनित गैस पाइपलाइन पाइप और वाल्व निम्नानुसार हैं:

उच्च शुद्धता वाले नाइट्रोजन (PN2) प्रणाली पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन वाले स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड होती हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
नाइट्रोजन (N2) प्रणाली पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड होती हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
उच्च शुद्धता वाले हाइड्रोजन (PH2) सिस्टम पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन वाले स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड होती हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन (PO2) सिस्टम पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti निम्न कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रो-पॉलिश की गई होती हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
आर्गन (Ar) प्रणाली पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनमें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड आंतरिक दीवारें होती हैं, और उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व का उपयोग किया जाता है।
हीलियम (He) प्रणाली के पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti निम्न-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड होती हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
स्वच्छ शुष्क संपीड़ित वायु (सीडीए) प्रणाली पाइप पॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
श्वास संपीड़ित वायु (बीए) प्रणाली पाइप पॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बॉल वाल्व से बने होते हैं।
प्रक्रिया वैक्यूम (पीवी) प्रणाली पाइप यूपीवीसी पाइप से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री से बने वैक्यूम बटरफ्लाई वाल्व से बने होते हैं।
सफाई वैक्यूम (एचवी) प्रणाली के पाइप यूपीवीसी पाइप से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री से बने वैक्यूम बटरफ्लाई वाल्व से बने होते हैं।
विशेष गैस प्रणाली के सभी पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड होती हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।

3 पाइपलाइनों का निर्माण और स्थापना
3.1 "स्वच्छ फैक्ट्री बिल्डिंग डिज़ाइन कोड" की धारा 8.3 पाइपलाइन कनेक्शन के लिए निम्नलिखित प्रावधान निर्धारित करती है:
(1) पाइप कनेक्शन वेल्डेड होने चाहिए, लेकिन हॉट-डिप गैल्वेनाइज्ड स्टील पाइप थ्रेडेड होने चाहिए। थ्रेडेड कनेक्शन की सीलिंग सामग्री इस विनिर्देश के अनुच्छेद 8.3.3 की आवश्यकताओं का अनुपालन करेगी।
(2) स्टेनलेस स्टील पाइप को आर्गन आर्क वेल्डिंग और बट वेल्डिंग या सॉकेट वेल्डिंग द्वारा जोड़ा जाना चाहिए, लेकिन उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों को भीतरी दीवार पर निशान के बिना बट वेल्डिंग द्वारा जोड़ा जाना चाहिए।
(3) पाइपलाइनों और उपकरणों के बीच कनेक्शन को उपकरण की कनेक्शन आवश्यकताओं का अनुपालन करना चाहिए। नली कनेक्शन का उपयोग करते समय, धातु की नली का उपयोग किया जाना चाहिए
(4) पाइपलाइनों और वाल्वों के बीच कनेक्शन निम्नलिखित विनियमों का पालन करना चाहिए

① उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों और वाल्वों को जोड़ने वाली सीलिंग सामग्री को उत्पादन प्रक्रिया और गैस विशेषताओं की आवश्यकताओं के अनुसार धातु गैस्केट या डबल फेरूल का उपयोग करना चाहिए।
②थ्रेडेड या फ्लैंज कनेक्शन पर सीलिंग सामग्री पॉलीटेट्राफ्लुओरोएथिलीन होनी चाहिए।
3.2 विनिर्देशों और प्रासंगिक तकनीकी उपायों की आवश्यकताओं के अनुसार, उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों के कनेक्शन को यथासंभव वेल्डेड किया जाना चाहिए। वेल्डिंग के दौरान प्रत्यक्ष बट वेल्डिंग से बचना चाहिए। पाइप स्लीव या तैयार जोड़ों का उपयोग किया जाना चाहिए। पाइप स्लीव को पाइप के समान सामग्री और आंतरिक सतह की चिकनाई से बनाया जाना चाहिए। वेल्डिंग के दौरान, वेल्डिंग भाग के ऑक्सीकरण को रोकने के लिए, वेल्डिंग पाइप में शुद्ध सुरक्षात्मक गैस पेश की जानी चाहिए। स्टेनलेस स्टील पाइप के लिए, आर्गन आर्क वेल्डिंग का उपयोग किया जाना चाहिए, और उसी शुद्धता की आर्गन गैस को पाइप में पेश किया जाना चाहिए। थ्रेडेड कनेक्शन या थ्रेडेड कनेक्शन का उपयोग किया जाना चाहिए। फ्लैंग्स को जोड़ते समय, थ्रेडेड कनेक्शन के लिए फेरूल का उपयोग किया जाना चाहिए। ऑक्सीजन पाइप और हाइड्रोजन पाइप को छोड़कर, जिसमें धातु के गैस्केट का उपयोग किया जाना चाहिए, अन्य पाइपों में पॉलीटेट्राफ्लुओरोएथिलीन गैस्केट का उपयोग किया जाना चाहिए। गैस्केट पर थोड़ी मात्रा में सिलिकॉन रबर लगाना भी प्रभावी होगा। सीलिंग प्रभाव को बढ़ाएं। फ्लैंग कनेक्शन बनाते समय भी इसी तरह के उपाय किए जाने चाहिए।
स्थापना कार्य शुरू होने से पहले, पाइपों का विस्तृत दृश्य निरीक्षण किया जाता है।फिटिंग, वाल्व, आदि को बाहर किया जाना चाहिए। साधारण स्टेनलेस स्टील पाइप की भीतरी दीवार को स्थापना से पहले अचार किया जाना चाहिए। ऑक्सीजन पाइपलाइनों के पाइप, फिटिंग, वाल्व आदि को तेल से सख्ती से प्रतिबंधित किया जाना चाहिए, और स्थापना से पहले प्रासंगिक आवश्यकताओं के अनुसार सख्ती से degreased किया जाना चाहिए।
सिस्टम को स्थापित करने और उपयोग में लाने से पहले, ट्रांसमिशन और वितरण पाइपलाइन सिस्टम को वितरित उच्च शुद्धता वाली गैस से पूरी तरह से शुद्ध किया जाना चाहिए। यह न केवल स्थापना प्रक्रिया के दौरान गलती से सिस्टम में गिरे धूल के कणों को उड़ा देता है, बल्कि पाइपलाइन सिस्टम में सुखाने की भूमिका भी निभाता है, जिससे पाइप की दीवार और यहां तक ​​कि पाइप सामग्री द्वारा अवशोषित नमी युक्त गैस का हिस्सा निकल जाता है।

4. पाइपलाइन दबाव परीक्षण और स्वीकृति
(1) सिस्टम स्थापित होने के बाद, विशेष गैस पाइपलाइनों में अत्यधिक विषैले तरल पदार्थों को ले जाने वाले पाइपों का 100% रेडियोग्राफिक निरीक्षण किया जाएगा, और उनकी गुणवत्ता स्तर II से कम नहीं होगी। अन्य पाइपों का नमूना रेडियोग्राफिक निरीक्षण किया जाएगा, और नमूना निरीक्षण अनुपात 5% से कम नहीं होगा, गुणवत्ता ग्रेड III से कम नहीं होगी।
(2) गैर-विनाशकारी निरीक्षण पारित करने के बाद, एक दबाव परीक्षण किया जाना चाहिए। पाइपिंग सिस्टम की सूखापन और सफाई सुनिश्चित करने के लिए, एक हाइड्रोलिक दबाव परीक्षण नहीं किया जाना चाहिए, लेकिन एक वायवीय दबाव परीक्षण का उपयोग किया जाना चाहिए। वायु दबाव परीक्षण नाइट्रोजन या संपीड़ित हवा का उपयोग करके किया जाना चाहिए जो स्वच्छ कमरे की सफाई के स्तर से मेल खाता है। पाइपलाइन का परीक्षण दबाव डिजाइन दबाव का 1.15 गुना होना चाहिए, और वैक्यूम पाइपलाइन का परीक्षण दबाव 0.2MPa होना चाहिए। परीक्षण के दौरान, दबाव को धीरे-धीरे और धीरे-धीरे बढ़ाया जाना चाहिए। जब ​​दबाव परीक्षण दबाव के 50% तक बढ़ जाता है, अगर कोई असामान्यता या रिसाव नहीं पाया जाता है, तो परीक्षण दबाव के 10% से कदम दर कदम दबाव बढ़ाना जारी रखें, और परीक्षण दबाव तक प्रत्येक स्तर पर 3 मिनट के लिए दबाव को स्थिर करें। दबाव को 10 मिनट तक स्थिर करें, फिर दबाव को डिजाइन दबाव तक कम करें। दबाव रोकने का समय रिसाव का पता लगाने की जरूरतों के अनुसार निर्धारित किया जाना चाहिए। अगर कोई रिसाव नहीं है तो फोमिंग एजेंट योग्य है।
(3) वैक्यूम सिस्टम दबाव परीक्षण पास करने के बाद, इसे डिजाइन दस्तावेजों के अनुसार 24 घंटे का वैक्यूम डिग्री परीक्षण भी करना चाहिए, और दबाव दर 5% से अधिक नहीं होनी चाहिए।
(4) रिसाव परीक्षण। पीपीबी और पीपीटी ग्रेड पाइपलाइन सिस्टम के लिए, प्रासंगिक विनिर्देशों के अनुसार, कोई रिसाव नहीं होना योग्य माना जाना चाहिए, लेकिन डिजाइन के दौरान रिसाव मात्रा परीक्षण का उपयोग किया जाता है, अर्थात, रिसाव मात्रा परीक्षण वायु जकड़न परीक्षण के बाद किया जाता है। दबाव काम करने का दबाव है, और दबाव 24 घंटे के लिए बंद कर दिया जाता है। औसत प्रति घंटा रिसाव 50ppm से कम या उसके बराबर है। रिसाव की गणना इस प्रकार है:
ए=(1-P2T1/P1T2)*100/टी
सूत्र में:
प्रति घंटे रिसाव (%)
P1-परीक्षण की शुरुआत में पूर्ण दबाव (Pa)
P2-परीक्षण के अंत में पूर्ण दाब (Pa)
T1-परीक्षण के आरंभ में निरपेक्ष तापमान (K)
T2-परीक्षण के अंत में निरपेक्ष तापमान (K)