इलेक्ट्रॉनिक इंजीनियरिंग प्रणालियों में उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों का अनुप्रयोग

909 प्रोजेक्ट वेरी लार्ज स्केल इंटीग्रेटेड सर्किट फैक्ट्री नौवीं पंचवर्षीय योजना के दौरान 0.18 माइक्रोन की लाइन चौड़ाई और 200 मिमी व्यास वाले चिप्स का उत्पादन करने के लिए मेरे देश के इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग की एक प्रमुख निर्माण परियोजना है।

बहुत बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट की विनिर्माण तकनीक में न केवल माइक्रो-मशीनिंग जैसी उच्च-सटीक प्रौद्योगिकियां शामिल हैं, बल्कि गैस की शुद्धता पर भी उच्च आवश्यकताएं हैं।
प्रोजेक्ट 909 के लिए थोक गैस आपूर्ति संयुक्त राज्य अमेरिका की प्रैक्सएयर यूटिलिटी गैस कंपनी लिमिटेड और शंघाई में संबंधित पार्टियों के बीच एक संयुक्त उद्यम द्वारा संयुक्त रूप से गैस उत्पादन संयंत्र स्थापित करने के लिए प्रदान की जाती है। गैस उत्पादन संयंत्र 909 परियोजना कारखाने के निकट है इमारत, लगभग 15,000 वर्ग मीटर के क्षेत्र को कवर करती है। विभिन्न गैसों की शुद्धता और आउटपुट आवश्यकताएँ

उच्च शुद्धता नाइट्रोजन (PN2), नाइट्रोजन (N2), और उच्च शुद्धता ऑक्सीजन (PO2) वायु पृथक्करण द्वारा उत्पादित होते हैं। उच्च शुद्धता वाले हाइड्रोजन (PH2) का उत्पादन इलेक्ट्रोलिसिस द्वारा किया जाता है। आर्गन (Ar) और हीलियम (He) आउटसोर्स से खरीदे जाते हैं। परियोजना 909 में उपयोग के लिए अर्ध-गैस को शुद्ध और फ़िल्टर किया जाता है। विशेष गैस की आपूर्ति बोतलों में की जाती है, और गैस बोतल कैबिनेट एकीकृत सर्किट उत्पादन संयंत्र की सहायक कार्यशाला में स्थित है।
अन्य गैसों में स्वच्छ शुष्क संपीड़ित वायु सीडीए प्रणाली भी शामिल है, जिसकी उपयोग मात्रा 4185m3/h, दबाव ओस बिंदु -70°C और उपयोग के बिंदु पर गैस में कण का आकार 0.01um से अधिक नहीं है। साँस लेने वाली संपीड़ित हवा (बीए) प्रणाली, उपयोग की मात्रा 90m3/h, दबाव ओस बिंदु 2℃, उपयोग के बिंदु पर गैस में कण का आकार 0.3um से अधिक नहीं है, प्रक्रिया वैक्यूम (PV) प्रणाली, उपयोग की मात्रा 582m3/h, उपयोग के बिंदु पर वैक्यूम डिग्री -79993Pa। सफाई वैक्यूम (एचवी) प्रणाली, उपयोग की मात्रा 1440एम3/एच, उपयोग बिंदु पर वैक्यूम डिग्री -59995 पा। एयर कंप्रेसर रूम और वैक्यूम पंप रूम दोनों 909 प्रोजेक्ट फैक्ट्री क्षेत्र में स्थित हैं।

पाइप सामग्री और सहायक उपकरण का चयन
वीएलएसआई उत्पादन में उपयोग की जाने वाली गैस में सफाई की अत्यधिक आवश्यकता होती है।उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनेंआमतौर पर स्वच्छ उत्पादन वातावरण में उपयोग किया जाता है, और उनका स्वच्छता नियंत्रण उपयोग में आने वाले स्थान के स्वच्छता स्तर के अनुरूप या उससे अधिक होना चाहिए! इसके अलावा, उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों का उपयोग अक्सर स्वच्छ उत्पादन वातावरण में किया जाता है। शुद्ध हाइड्रोजन (PH2), उच्च शुद्धता ऑक्सीजन (PO2) और कुछ विशेष गैसें ज्वलनशील, विस्फोटक, दहन-सहायक या जहरीली गैसें हैं। यदि गैस पाइपलाइन प्रणाली को अनुचित तरीके से डिज़ाइन किया गया है या सामग्रियों को अनुचित तरीके से चुना गया है, तो न केवल गैस बिंदु पर उपयोग की जाने वाली गैस की शुद्धता कम हो जाएगी, बल्कि यह विफल भी हो जाएगी। यह प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करता है, लेकिन इसका उपयोग करना असुरक्षित है और इससे स्वच्छ कारखाने में प्रदूषण होगा, जिससे स्वच्छ कारखाने की सुरक्षा और स्वच्छता प्रभावित होगी।
उपयोग के बिंदु पर उच्च शुद्धता वाली गैस की गुणवत्ता की गारंटी न केवल गैस उत्पादन, शुद्धिकरण उपकरण और फिल्टर की सटीकता पर निर्भर करती है, बल्कि पाइपलाइन प्रणाली में कई कारकों से भी काफी हद तक प्रभावित होती है। यदि हम गैस उत्पादन उपकरण, शुद्धिकरण उपकरण और फिल्टर पर भरोसा करते हैं तो अनुचित गैस पाइपिंग सिस्टम डिजाइन या सामग्री चयन की भरपाई के लिए असीम रूप से उच्च परिशुद्धता आवश्यकताओं को लागू करना गलत है।
909 प्रोजेक्ट की डिज़ाइन प्रक्रिया के दौरान, हमने "स्वच्छ संयंत्रों के डिज़ाइन के लिए कोड" GBJ73-84 (वर्तमान मानक (GB50073-2001) है), "संपीड़ित वायु स्टेशनों के डिज़ाइन के लिए कोड" GBJ29-90, "कोड" का पालन किया। ऑक्सीजन स्टेशनों के डिजाइन के लिए GB50030-91, "हाइड्रोजन और ऑक्सीजन स्टेशनों के डिजाइन के लिए कोड" GB50177-93, और पाइपलाइन सामग्री और सहायक उपकरण के चयन के लिए प्रासंगिक तकनीकी उपाय। "स्वच्छ संयंत्रों के डिजाइन के लिए कोड" पाइपलाइन सामग्री और वाल्वों के चयन को निम्नानुसार निर्धारित करता है:

(1) यदि गैस की शुद्धता 99.999% से अधिक या उसके बराबर है और ओस बिंदु -76 डिग्री सेल्सियस से कम है, तो 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवार के साथ या OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) के साथ इलेक्ट्रोपॉलिश भीतरी दीवार का उपयोग किया जाना चाहिए। वाल्व एक डायाफ्राम वाल्व या धौंकनी वाल्व होना चाहिए।

(2) यदि गैस की शुद्धता 99.99% से अधिक या उसके बराबर है और ओस बिंदु -60 डिग्री सेल्सियस से कम है, तो इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवार के साथ ओसीआर18एनआई9 स्टेनलेस स्टील ट्यूब (304) का उपयोग किया जाना चाहिए। दहनशील गैस पाइपलाइनों के लिए उपयोग किए जाने वाले धौंकनी वाल्वों को छोड़कर, बॉल वाल्वों का उपयोग अन्य गैस पाइपलाइनों के लिए किया जाना चाहिए।

(3) यदि शुष्क संपीड़ित हवा का ओस बिंदु -70°C से कम है, तो पॉलिश की गई आंतरिक दीवार के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) का उपयोग किया जाना चाहिए। यदि ओस बिंदु -40℃ से कम है, तो OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) या हॉट-डिप गैल्वेनाइज्ड सीमलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए। वाल्व धौंकनी वाल्व या बॉल वाल्व होना चाहिए।

(4) वाल्व सामग्री कनेक्टिंग पाइप सामग्री के साथ संगत होनी चाहिए।

विशिष्टताओं और प्रासंगिक तकनीकी उपायों की आवश्यकताओं के अनुसार, पाइपलाइन सामग्री का चयन करते समय हम मुख्य रूप से निम्नलिखित पहलुओं पर विचार करते हैं:

(1) पाइप सामग्री की वायु पारगम्यता छोटी होनी चाहिए। विभिन्न सामग्रियों के पाइपों में अलग-अलग वायु पारगम्यता होती है। यदि अधिक वायु पारगम्यता वाले पाइपों का चयन किया जाता है, तो प्रदूषण को दूर नहीं किया जा सकता है। स्टेनलेस स्टील पाइप और तांबे के पाइप वायुमंडल में ऑक्सीजन के प्रवेश और क्षरण को रोकने में बेहतर हैं। हालाँकि, चूंकि स्टेनलेस स्टील पाइप तांबे के पाइप की तुलना में कम सक्रिय होते हैं, तांबे के पाइप वातावरण में नमी को उनकी आंतरिक सतहों में प्रवेश करने की अनुमति देने में अधिक सक्रिय होते हैं। इसलिए, उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों के लिए पाइप का चयन करते समय स्टेनलेस स्टील पाइप पहली पसंद होनी चाहिए।

(2) पाइप सामग्री की आंतरिक सतह सोख ली जाती है और गैस के विश्लेषण पर थोड़ा प्रभाव डालती है। स्टेनलेस स्टील पाइप के संसाधित होने के बाद, इसकी धातु की जाली में एक निश्चित मात्रा में गैस बरकरार रहेगी। जब उच्च शुद्धता वाली गैस गुजरती है, तो गैस का यह हिस्सा वायु प्रवाह में प्रवेश करेगा और प्रदूषण का कारण बनेगा। साथ ही, सोखने और विश्लेषण के कारण, पाइप की आंतरिक सतह पर धातु भी एक निश्चित मात्रा में पाउडर का उत्पादन करेगी, जिससे उच्च शुद्धता वाली गैस प्रदूषित हो जाएगी। 99.999% या पीपीबी स्तर से ऊपर शुद्धता वाले पाइपिंग सिस्टम के लिए, 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) का उपयोग किया जाना चाहिए।

(3) स्टेनलेस स्टील पाइप का पहनने का प्रतिरोध तांबे के पाइप की तुलना में बेहतर है, और वायु प्रवाह के क्षरण से उत्पन्न धातु की धूल अपेक्षाकृत कम है। सफाई के लिए उच्च आवश्यकताओं वाली उत्पादन कार्यशालाएँ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) या OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) का उपयोग कर सकती हैं, तांबे के पाइप का उपयोग नहीं किया जाएगा।

(4) 99.999% या पीपीबी या पीपीटी स्तर से ऊपर गैस शुद्धता वाले पाइपिंग सिस्टम के लिए, या "क्लीन फैक्ट्री डिज़ाइन कोड" में निर्दिष्ट एन1-एन6 के वायु स्वच्छता स्तर वाले साफ कमरों में, अल्ट्रा-क्लीन पाइप याईपी अल्ट्रा-क्लीन पाइपप्रयोग किया जाना चाहिए. स्वच्छ "अत्यधिक चिकनी आंतरिक सतह के साथ स्वच्छ ट्यूब"।

(5) उत्पादन प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली कुछ विशेष गैस पाइपलाइन प्रणालियाँ अत्यधिक संक्षारक गैसें हैं। इन पाइपलाइन प्रणालियों में पाइपों को पाइप के रूप में संक्षारण प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग करना चाहिए। अन्यथा जंग लगने से पाइप क्षतिग्रस्त हो जायेंगे। यदि सतह पर जंग के धब्बे होते हैं, तो साधारण सीमलेस स्टील पाइप या गैल्वेनाइज्ड वेल्डेड स्टील पाइप का उपयोग नहीं किया जाएगा।

(6) सिद्धांत रूप में, सभी गैस पाइपलाइन कनेक्शनों को वेल्ड किया जाना चाहिए। चूंकि गैल्वनाइज्ड स्टील पाइप की वेल्डिंग से गैल्वनाइज्ड परत नष्ट हो जाएगी, इसलिए साफ कमरों में पाइप के लिए गैल्वनाइज्ड स्टील पाइप का उपयोग नहीं किया जाता है।

उपरोक्त कारकों को ध्यान में रखते हुए, &7& परियोजना में चयनित गैस पाइपलाइन पाइप और वाल्व इस प्रकार हैं:

उच्च शुद्धता वाले नाइट्रोजन (PN2) सिस्टम पाइप इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
नाइट्रोजन (N2) सिस्टम पाइप इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
उच्च शुद्धता वाले हाइड्रोजन (PH2) सिस्टम पाइप इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन (PO2) सिस्टम पाइप इलेक्ट्रो-पॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
आर्गन (Ar) सिस्टम पाइप 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, जिनकी आंतरिक दीवारें इलेक्ट्रोपॉलिश होती हैं, और उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व का उपयोग किया जाता है।
हीलियम (He) सिस्टम पाइप इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
स्वच्छ शुष्क संपीड़ित वायु (सीडीए) सिस्टम पाइप पॉलिश की गई आंतरिक दीवारों के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।
साँस लेने वाली संपीड़ित हवा (बीए) प्रणाली पाइप पॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बॉल वाल्व से बने होते हैं।
प्रोसेस वैक्यूम (पीवी) सिस्टम पाइप यूपीवीसी पाइप से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री से बने वैक्यूम बटरफ्लाई वाल्व से बने होते हैं।
सफाई वैक्यूम (एचवी) सिस्टम पाइप यूपीवीसी पाइप से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री से बने वैक्यूम बटरफ्लाई वाल्व से बने होते हैं।
विशेष गैस प्रणाली के सभी पाइप इलेक्ट्रोपॉलिश आंतरिक दीवारों के साथ 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) से बने होते हैं, और वाल्व उसी सामग्री के स्टेनलेस स्टील बेलो वाल्व से बने होते हैं।

3 पाइपलाइनों का निर्माण एवं स्थापना
3.1 "स्वच्छ फैक्ट्री बिल्डिंग डिज़ाइन कोड" की धारा 8.3 पाइपलाइन कनेक्शन के लिए निम्नलिखित प्रावधान निर्धारित करती है:
(1) पाइप कनेक्शन को वेल्ड किया जाना चाहिए, लेकिन हॉट-डिप गैल्वेनाइज्ड स्टील पाइप को थ्रेड किया जाना चाहिए। थ्रेडेड कनेक्शन की सीलिंग सामग्री इस विनिर्देश के अनुच्छेद 8.3.3 की आवश्यकताओं का अनुपालन करेगी।
(2) स्टेनलेस स्टील पाइप को आर्गन आर्क वेल्डिंग और बट वेल्डिंग या सॉकेट वेल्डिंग द्वारा जोड़ा जाना चाहिए, लेकिन उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों को आंतरिक दीवार पर निशान के बिना बट वेल्डिंग द्वारा जोड़ा जाना चाहिए।
(3) पाइपलाइनों और उपकरणों के बीच कनेक्शन को उपकरण की कनेक्शन आवश्यकताओं का पालन करना चाहिए। नली कनेक्शन का उपयोग करते समय, धातु की नली का उपयोग किया जाना चाहिए
(4) पाइपलाइनों और वाल्वों के बीच कनेक्शन को निम्नलिखित नियमों का पालन करना चाहिए

① उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों और वाल्वों को जोड़ने वाली सीलिंग सामग्री को उत्पादन प्रक्रिया और गैस विशेषताओं की आवश्यकताओं के अनुसार धातु गैस्केट या डबल फेरूल का उपयोग करना चाहिए।
②थ्रेडेड या फ्लैंज कनेक्शन पर सीलिंग सामग्री पॉलीटेट्राफ्लुओरोएथिलीन होनी चाहिए।
3.2 विशिष्टताओं और प्रासंगिक तकनीकी उपायों की आवश्यकताओं के अनुसार, उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों के कनेक्शन को यथासंभव वेल्ड किया जाना चाहिए। वेल्डिंग के दौरान डायरेक्ट बट वेल्डिंग से बचना चाहिए। पाइप स्लीव्स या तैयार जोड़ों का उपयोग किया जाना चाहिए। पाइप आस्तीन उसी सामग्री से बने होने चाहिए और आंतरिक सतह पाइप के समान चिकनी होनी चाहिए। स्तर, वेल्डिंग के दौरान, वेल्डिंग भाग के ऑक्सीकरण को रोकने के लिए, शुद्ध सुरक्षात्मक गैस को वेल्डिंग पाइप में पेश किया जाना चाहिए। स्टेनलेस स्टील पाइप के लिए, आर्गन आर्क वेल्डिंग का उपयोग किया जाना चाहिए, और उसी शुद्धता की आर्गन गैस को पाइप में डाला जाना चाहिए। थ्रेडेड कनेक्शन या थ्रेडेड कनेक्शन का उपयोग किया जाना चाहिए। फ्लैंग्स को कनेक्ट करते समय, थ्रेडेड कनेक्शन के लिए फेरूल का उपयोग किया जाना चाहिए। ऑक्सीजन पाइप और हाइड्रोजन पाइप को छोड़कर, जिनमें धातु गैसकेट का उपयोग किया जाना चाहिए, अन्य पाइपों को पॉलीटेट्राफ्लुओरोएथिलीन गैसकेट का उपयोग करना चाहिए। गैस्केट पर थोड़ी मात्रा में सिलिकॉन रबर लगाना भी प्रभावी होगा। सीलिंग प्रभाव बढ़ाएँ. फ्लैंज कनेक्शन बनाते समय भी इसी तरह के उपाय किए जाने चाहिए।
स्थापना कार्य शुरू होने से पहले, पाइपों का विस्तृत दृश्य निरीक्षण,फिटिंग, वाल्व आदि का कार्य अवश्य किया जाना चाहिए। साधारण स्टेनलेस स्टील पाइप की भीतरी दीवार को स्थापना से पहले चुना जाना चाहिए। ऑक्सीजन पाइपलाइनों के पाइप, फिटिंग, वाल्व इत्यादि को तेल से सख्ती से प्रतिबंधित किया जाना चाहिए, और स्थापना से पहले प्रासंगिक आवश्यकताओं के अनुसार सख्ती से कम किया जाना चाहिए।
सिस्टम को स्थापित करने और उपयोग में लाने से पहले, ट्रांसमिशन और वितरण पाइपलाइन प्रणाली को वितरित उच्च शुद्धता वाली गैस से पूरी तरह से शुद्ध किया जाना चाहिए। यह न केवल धूल के कणों को उड़ा देता है जो स्थापना प्रक्रिया के दौरान गलती से सिस्टम में गिर गए, बल्कि पाइपलाइन सिस्टम में सुखाने की भूमिका भी निभाते हैं, पाइप की दीवार और यहां तक ​​कि पाइप सामग्री द्वारा अवशोषित नमी युक्त गैस के हिस्से को हटा देते हैं।

4. पाइपलाइन दबाव परीक्षण और स्वीकृति
(1) सिस्टम स्थापित होने के बाद, विशेष गैस पाइपलाइनों में अत्यधिक जहरीले तरल पदार्थों का परिवहन करने वाले पाइपों का 100% रेडियोग्राफिक निरीक्षण किया जाएगा, और उनकी गुणवत्ता स्तर II से कम नहीं होगी। अन्य पाइप सैंपलिंग रेडियोग्राफ़िक निरीक्षण के अधीन होंगे, और सैंपलिंग निरीक्षण अनुपात 5% से कम नहीं होगा, गुणवत्ता ग्रेड III से कम नहीं होगी।
(2) गैर-विनाशकारी निरीक्षण पास करने के बाद दबाव परीक्षण किया जाना चाहिए। पाइपिंग प्रणाली की सूखापन और सफाई सुनिश्चित करने के लिए, हाइड्रोलिक दबाव परीक्षण नहीं किया जाना चाहिए, बल्कि वायवीय दबाव परीक्षण का उपयोग किया जाना चाहिए। हवा के दबाव का परीक्षण नाइट्रोजन या संपीड़ित हवा का उपयोग करके किया जाना चाहिए जो साफ कमरे के स्वच्छता स्तर से मेल खाता हो। पाइपलाइन का परीक्षण दबाव डिज़ाइन दबाव का 1.15 गुना होना चाहिए, और वैक्यूम पाइपलाइन का परीक्षण दबाव 0.2MPa होना चाहिए। परीक्षण के दौरान दबाव धीरे-धीरे और धीरे-धीरे बढ़ाना चाहिए। जब दबाव परीक्षण दबाव के 50% तक बढ़ जाता है, यदि कोई असामान्यता या रिसाव नहीं पाया जाता है, तो परीक्षण दबाव के 10% तक दबाव को चरण दर चरण बढ़ाना जारी रखें, और परीक्षण दबाव तक प्रत्येक स्तर पर 3 मिनट के लिए दबाव को स्थिर करें। . 10 मिनट के लिए दबाव को स्थिर करें, फिर दबाव को डिज़ाइन दबाव तक कम करें। रिसाव का पता लगाने की आवश्यकताओं के अनुसार दबाव रोकने का समय निर्धारित किया जाना चाहिए। यदि कोई रिसाव नहीं है तो फोमिंग एजेंट योग्य है।
(3) वैक्यूम सिस्टम दबाव परीक्षण पास करने के बाद, इसे डिजाइन दस्तावेजों के अनुसार 24 घंटे का वैक्यूम डिग्री परीक्षण भी करना चाहिए, और दबाव दर 5% से अधिक नहीं होनी चाहिए।
(4) रिसाव परीक्षण. पीपीबी और पीपीटी ग्रेड पाइपलाइन प्रणालियों के लिए, प्रासंगिक विशिष्टताओं के अनुसार, किसी भी रिसाव को योग्य नहीं माना जाना चाहिए, लेकिन डिजाइन के दौरान रिसाव मात्रा परीक्षण का उपयोग किया जाता है, अर्थात रिसाव मात्रा परीक्षण वायु जकड़न परीक्षण के बाद किया जाता है। दबाव काम का दबाव है, और दबाव 24 घंटे के लिए बंद हो जाता है। औसत प्रति घंटा रिसाव योग्य के रूप में 50पीपीएम से कम या उसके बराबर है। रिसाव की गणना इस प्रकार है:
ए=(1-पी2टी1/पी1टी2)*100/टी
सूत्र में:
एक घंटे का रिसाव (%)
P1-परीक्षण की शुरुआत में पूर्ण दबाव (Pa)
पी2-परीक्षण के अंत में पूर्ण दबाव (पीए)
परीक्षण की शुरुआत में T1-पूर्ण तापमान (K)
परीक्षण के अंत में T2-पूर्ण तापमान (K)