गैस वितरण प्रणाली

4. वितरण परिभाषा:

गैस स्रोत को गैस संग्रहण कॉइल से जोड़ना

लाइन का आकार: चिप फैक्ट्री में, थोक गैस वितरण पाइपलाइन का आकार आम तौर पर 1/2 इंच से 2 इंच तक होता है।

कनेक्शन फॉर्म: विशेष गैस पाइपलाइन आम तौर पर वेल्डिंग द्वारा जुड़ी होती हैं, बिना किसी यांत्रिक कनेक्शन या अन्य चलती भागों के, मुख्यतः क्योंकि वेल्डिंग कनेक्शन में मजबूत सीलिंग विश्वसनीयता होती है।

एक चिप फैक्ट्री में, गैस संचारित करने के लिए सैकड़ों किलोमीटर लंबी ट्यूबिंग जुड़ी होती हैं, जो मूल रूप से लगभग 20 फीट लंबी होती हैं और एक साथ वेल्डेड होती हैं। कुछ ट्यूबिंग मोड़ और ट्यूबलर वेल्डिंग कनेक्शन भी बहुत आम हैं।

5. मल्टी-फंक्शन वाल्व बॉक्स (वाल्व मैनिफोल्ड बॉक्स, वीएमबी) परिभाषा:

इसका उद्देश्य गैस स्रोत से विभिन्न उपकरणों तक विशेष गैसों को वितरित करना है।

आंतरिक पाइपलाइन का आकार: 1/4 इंच प्रक्रिया पाइपलाइन, और 1/4 - 3/8 इंच पर्ज पाइपलाइन। सिस्टम सक्रिय वाल्व या मैन्युअल वाल्व के साथ कम लागत वाली स्थितियों की आवश्यकता के लिए कंप्यूटर नियंत्रण का उपयोग कर सकता है।

सिस्टम उत्पाद: उच्च शुद्धता वाले डायाफ्राम वाल्व/धौंकनी वाल्व, चेक वाल्व, उच्च शुद्धता वाले जोड़ (वीसीआर, माइक्रो-वेल्डिंग फॉर्म), दबाव विनियमन वाल्व, दबाव गेज और दबाव गेज, आदि। कुछ अक्रिय गैसों के वितरण के लिए, वाल्व मैनिफोल्ड पैनल - वीएमपी (मल्टी-फंक्शन वाल्व डिस्क) का मुख्य रूप से उपयोग किया जाता है, जिसमें एक खुली गैस डिस्क सतह होती है और इसके लिए बंद स्थान डिजाइन और अतिरिक्त नाइट्रोजन शुद्धिकरण की आवश्यकता नहीं होती है।