1. थोक गैस प्रणाली परिभाषा:
अक्रिय गैसों का भंडारण और दबाव नियंत्रण गैस के प्रकार: विशिष्ट अक्रिय गैसें (नाइट्रोजन, आर्गन, संपीड़ित वायु, आदि)
पाइपलाइन का आकार: 1/4 (निगरानी पाइपलाइन) से 12-इंच मुख्य पाइपलाइन तक
प्रणाली के मुख्य उत्पाद हैं: डायाफ्राम वाल्व / बेलो वाल्व / बॉल वाल्व, उच्च शुद्धता कनेक्टर (वीसीआर, वेल्डिंग फॉर्म), फेरुल कनेक्टर, दबाव विनियमन वाल्व, दबाव गेज, आदि।
वर्तमान में, नई प्रणाली में बल्क विशेष गैस प्रणाली भी शामिल है, जो भंडारण और परिवहन के लिए स्थिर गैस सिलेंडर या टैंक ट्रकों का उपयोग करती है।
2. शुद्धिकरण प्रणाली परिभाषा:
उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपलाइनों के लिए थोक गैसों से अशुद्धियों को हटाना
3. गैस कैबिनेट परिभाषा:
विशेष गैस स्रोतों (विषाक्त, ज्वलनशील, प्रतिक्रियाशील, संक्षारक गैसों) के लिए दबाव नियंत्रण और प्रवाह निगरानी प्रदान करना, तथा गैस सिलेंडरों को प्रतिस्थापित करने की क्षमता रखना।
स्थान: विशेष गैसों के भंडारण के लिए उप-फैब मंजिल या निचली मंजिल पर स्थित स्रोत: एनएफ 3, एसएफ 6, डब्ल्यूएफ 6, आदि।
पाइपलाइन का आकार: आंतरिक गैस पाइपलाइन, आमतौर पर प्रक्रिया पाइपलाइन के लिए 1/4 इंच, मुख्य रूप से उच्च शुद्धता नाइट्रोजन पर्ज पाइपलाइन के लिए 1/4-3/8 इंच।
मुख्य उत्पाद: उच्च शुद्धता डायाफ्राम वाल्व, चेक वाल्व, दबाव गेज, दबाव गेज, उच्च शुद्धता कनेक्टर (वीसीआर, वेल्डिंग फॉर्म) इन गैस अलमारियाँ में मूल रूप से सिलेंडरों के लिए स्वचालित स्विचिंग क्षमताएं होती हैं ताकि निरंतर गैस की आपूर्ति और सिलेंडरों के सुरक्षित प्रतिस्थापन को सुनिश्चित किया जा सके।
4. वितरण परिभाषा:
गैस स्रोत को गैस संग्रहण कुंडली से जोड़ना
लाइन का आकार: चिप फैक्ट्री में, थोक गैस वितरण पाइपलाइन का आकार आम तौर पर 1/2 इंच से 2 इंच तक होता है।
कनेक्शन का प्रकार: विशेष गैस पाइपलाइनों को आम तौर पर वेल्डिंग द्वारा जोड़ा जाता है, बिना किसी यांत्रिक कनेक्शन या अन्य चलती भागों के, मुख्य रूप से क्योंकि वेल्डिंग कनेक्शन में मजबूत सीलिंग विश्वसनीयता होती है।
चिप फैक्ट्री में ट्रांसमिट गैस से जुड़ी सैकड़ों किलोमीटर लंबी ट्यूबिंग होती है, जो मूल रूप से लगभग 20 फीट लंबी होती है और एक साथ वेल्डेड होती है। कुछ ट्यूबिंग बेंड और ट्यूबलर वेल्डिंग कनेक्शन भी बहुत आम हैं।
5. मल्टी-फंक्शन वाल्व बॉक्स (वाल्व मैनिफोल्ड बॉक्स, वीएमबी) परिभाषा:
इसका उद्देश्य गैस स्रोत से विभिन्न उपकरणों तक विशेष गैसों को वितरित करना है।
आंतरिक पाइपलाइन का आकार: 1/4 इंच प्रक्रिया पाइपलाइन, और 1/4 - 3/8 इंच पर्ज पाइपलाइन। सिस्टम सक्रिय वाल्व या मैनुअल वाल्व के साथ कम लागत वाली स्थितियों की आवश्यकता के लिए कंप्यूटर नियंत्रण का उपयोग कर सकता है।
सिस्टम उत्पाद: उच्च शुद्धता डायाफ्राम वाल्व / बेलो वाल्व, चेक वाल्व, उच्च शुद्धता जोड़ (वीसीआर, माइक्रो-वेल्डिंग फॉर्म), दबाव विनियमन वाल्व, दबाव गेज और दबाव गेज, आदि। कुछ निष्क्रिय गैसों के वितरण के लिए, वाल्व मैनिफोल्ड पैनल - वीएमपी (मल्टी-फंक्शन वाल्व डिस्क) मुख्य रूप से उपयोग किया जाता है, जिसमें एक खुली गैस डिस्क सतह होती है और इसे बंद स्थान डिजाइन और अतिरिक्त नाइट्रोजन पर्ज की आवश्यकता नहीं होती है।
6. सेकेंडरी वाल्व प्लेट/बॉक्स (टूल हुकअप पैनल) परिभाषा:
सेमीकंडक्टर उपकरण द्वारा आवश्यक गैस को गैस स्रोत से उपकरण के अंत तक कनेक्ट करें और संबंधित दबाव विनियमन प्रदान करें। यह पैनल एक गैस नियंत्रण प्रणाली है जो VMB (मल्टी-फंक्शन वाल्व बॉक्स) की तुलना में उपकरण के अंत के करीब है।
गैस पाइपलाइन का आकार: 1/4 - 3/8 इंच
तरल पाइपलाइन का आकार: 1/2 - 1 इंच
निर्वहन पाइपलाइन का आकार: 1/2 - 1 इंच
मुख्य उत्पाद: डायाफ्राम वाल्व / बेलो वाल्व, एक-तरफा वाल्व, दबाव विनियमन वाल्व, दबाव गेज, दबाव गेज, उच्च शुद्धता संयुक्त (वीसीआर, माइक्रो वेल्डिंग), फेरुल संयुक्त, गेंद वाल्व, नली, आदि।
पोस्ट करने का समय: नवम्बर-22-2024