गैस वितरण प्रणाली

4. वितरण की परिभाषा:

गैस स्रोत को गैस संग्रहण कुंडल से जोड़ना

लाइन का आकार: चिप फैक्ट्री में, थोक गैस वितरण पाइपलाइन का आकार आमतौर पर 1/2 इंच से 2 इंच तक होता है।

कनेक्शन का प्रकार: विशेष गैस पाइपलाइनें आमतौर पर वेल्डिंग द्वारा जोड़ी जाती हैं, जिसमें कोई यांत्रिक कनेक्शन या अन्य गतिशील भाग नहीं होते हैं, मुख्य रूप से क्योंकि वेल्डिंग कनेक्शन में मजबूत सीलिंग विश्वसनीयता होती है।

एक चिप फैक्ट्री में, गैस संचारित करने के लिए सैकड़ों किलोमीटर लंबी पाइपें आपस में जुड़ी होती हैं, जो मूल रूप से लगभग 20 फीट लंबी होती हैं और वेल्ड की हुई होती हैं। पाइपों में मोड़ और ट्यूबलर वेल्डिंग कनेक्शन भी बहुत आम हैं।

5. बहु-कार्यात्मक वाल्व बॉक्स (वाल्व मैनिफोल्ड बॉक्स, वीएमबी) परिभाषा:

इसका उद्देश्य गैस स्रोत से विभिन्न उपकरणों तक विशेष गैसों का वितरण करना है।

आंतरिक पाइपलाइन का आकार: 1/4 इंच की प्रोसेस पाइपलाइन और 1/4 से 3/8 इंच की पर्ज पाइपलाइन। सिस्टम में कंप्यूटर नियंत्रण का उपयोग करके संचालित वाल्वों की आवश्यकता हो सकती है या कम लागत वाली स्थितियों में मैनुअल वाल्वों का उपयोग किया जा सकता है।

सिस्टम उत्पाद: उच्च शुद्धता वाले डायाफ्राम वाल्व/बेल्लो वाल्व, चेक वाल्व, उच्च शुद्धता वाले जोड़ (वीसीआर, माइक्रो-वेल्डिंग फॉर्म), दबाव नियंत्रक वाल्व, प्रेशर गेज आदि। कुछ अक्रिय गैसों के वितरण के लिए, वाल्व मैनिफोल्ड पैनल - वीएमपी (बहु-कार्यात्मक वाल्व डिस्क) का मुख्य रूप से उपयोग किया जाता है, जिसमें एक खुली गैस डिस्क सतह होती है और इसके लिए बंद स्थान डिजाइन और अतिरिक्त नाइट्रोजन पर्ज की आवश्यकता नहीं होती है।