अर्धचालकों के लिए उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपिंग का महत्व

As अर्धचालकऔर माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकियां उच्च प्रदर्शन और उच्च एकीकरण की दिशा में विकसित होती हैं, इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैसों की शुद्धता पर उच्च आवश्यकताएं लगाई जाती हैं। उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपिंग तकनीक उच्च शुद्धता वाली गैस आपूर्ति प्रणाली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है। यह उच्च-शुद्धता वाली गैसों को वितरित करने की प्रमुख तकनीक है जो योग्य गुणवत्ता बनाए रखते हुए गैस उपयोग बिंदुओं की आवश्यकताओं को पूरा करती है।

उच्च शुद्धता वाली पाइपिंग तकनीक में सिस्टम का सही डिज़ाइन, पाइप फिटिंग और सहायक सामग्री का चयन, निर्माण और स्थापना और परीक्षण शामिल हैं।

01गैस ट्रांसमिशन पाइपिंग की सामान्य अवधारणा

सभी उच्च-शुद्धता और उच्च-स्वच्छता वाली गैसों को पाइपलाइनों के माध्यम से टर्मिनल गैस बिंदु तक ले जाने की आवश्यकता है। गैस के लिए प्रक्रिया गुणवत्ता आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, जब गैस निर्यात सूचकांक निश्चित है, तो पाइपिंग सिस्टम की सामग्री चयन और निर्माण गुणवत्ता पर ध्यान देना अधिक आवश्यक है। गैस उत्पादन या शुद्धिकरण उपकरण की सटीकता के अलावा, यह पाइपलाइन प्रणाली के कई कारकों से काफी हद तक प्रभावित होता है। इसलिए, पाइपों के चयन के लिए प्रासंगिक शुद्धिकरण उद्योग सिद्धांतों का पालन करना और चित्रों में पाइपों की सामग्री को चिह्नित करना आवश्यक है।

02गैस परिवहन में उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइनों का महत्व

उच्च शुद्धता वाले गैस परिवहन में उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइनों का महत्व स्टेनलेस स्टील गलाने की प्रक्रिया के दौरान, प्रत्येक टन लगभग 200 ग्राम गैस को अवशोषित कर सकता है। स्टेनलेस स्टील के संसाधित होने के बाद, न केवल विभिन्न प्रदूषक इसकी सतह पर चिपक जाते हैं, बल्कि एक निश्चित मात्रा में गैस भी इसकी धातु जाली में अवशोषित हो जाती है। जब पाइपलाइन से वायु प्रवाह गुजरता है, तो धातु द्वारा अवशोषित गैस का हिस्सा वायु प्रवाह में फिर से प्रवेश करेगा और शुद्ध गैस को प्रदूषित करेगा।

जब पाइप में हवा का प्रवाह बंद हो जाता है, तो पाइप गुजरने वाली गैस पर दबाव सोखना बनाता है। जब वायु प्रवाह गुजरना बंद हो जाता है, तो पाइप द्वारा सोखी गई गैस दबाव कटौती विश्लेषण बनाती है, और विश्लेषण की गई गैस भी अशुद्धता के रूप में पाइप में शुद्ध गैस में प्रवेश करती है।

उसी समय, सोखना और विश्लेषण चक्र पाइप की आंतरिक सतह पर धातु को एक निश्चित मात्रा में पाउडर का उत्पादन करने का कारण बनेगा। यह धातु धूल कण पाइप में शुद्ध गैस को भी प्रदूषित करता है। पाइप की यह विशेषता बहुत महत्वपूर्ण है. परिवहन की गई गैस की शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए, न केवल यह आवश्यक है कि पाइप की आंतरिक सतह में अत्यधिक चिकनाई हो, बल्कि यह भी आवश्यक है कि इसमें उच्च पहनने का प्रतिरोध हो।

जब गैस में मजबूत संक्षारक गुण होते हैं, तो पाइपिंग के लिए संक्षारण प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए। अन्यथा, जंग के कारण पाइप की भीतरी सतह पर जंग के धब्बे दिखाई देंगे। गंभीर मामलों में, धातु के बड़े टुकड़े छिल जाएंगे या उनमें छेद हो जाएगा, जिससे परिवहन की जाने वाली शुद्ध गैस दूषित हो जाएगी।

03पाइप सामग्री

पाइप की सामग्री का चयन उपयोग की आवश्यकताओं के अनुसार किया जाना चाहिए। पाइप की गुणवत्ता आमतौर पर पाइप की आंतरिक सतह की खुरदरापन के अनुसार मापी जाती है। खुरदरापन जितना कम होगा, कणों को ले जाने की संभावना उतनी ही कम होगी। आम तौर पर तीन प्रकारों में विभाजित किया गया है:

कोई हैईपी ग्रेड 316एल पाइप, जिसे इलेक्ट्रोलाइटिक रूप से पॉलिश (इलेक्ट्रो-पोलिश) किया गया है। यह संक्षारण प्रतिरोधी है और इसकी सतह का खुरदरापन कम है। Rmax (अधिकतम चोटी से घाटी की ऊंचाई) लगभग 0.3μm या उससे कम है। इसमें उच्चतम समतलता है और सूक्ष्म-भँवर धाराएँ बनाना आसान नहीं है। दूषित कणों को हटा दें. प्रक्रिया में प्रयुक्त प्रतिक्रिया गैस को इस स्तर पर पाइप किया जाना चाहिए।

एक है एबीए ग्रेड 316एलपाइप, जिसे ब्राइट एनील द्वारा उपचारित किया गया है और अक्सर उन गैसों के लिए उपयोग किया जाता है जो चिप के संपर्क में हैं लेकिन प्रक्रिया प्रतिक्रिया में भाग नहीं लेते हैं, जैसे कि जीएन2 और सीडीए। एक एपी पाइप (एनीलिंग और पिकिंग) है, जिसका विशेष रूप से उपचार नहीं किया जाता है और आमतौर पर बाहरी पाइपों के दोहरे सेट के लिए उपयोग किया जाता है जिनका उपयोग गैस आपूर्ति लाइनों के रूप में नहीं किया जाता है।

04 पाइपलाइन निर्माण

पाइप मुंह का प्रसंस्करण इस निर्माण तकनीक के प्रमुख बिंदुओं में से एक है। पाइपलाइन की कटिंग और प्रीफैब्रिकेशन स्वच्छ वातावरण में किया जाता है, और साथ ही, यह सुनिश्चित किया जाता है कि काटने से पहले पाइपलाइन की सतह पर कोई हानिकारक निशान या क्षति न हो। पाइपलाइन खोलने से पहले पाइपलाइन में नाइट्रोजन फ्लशिंग की तैयारी की जानी चाहिए। सिद्धांत रूप में, वेल्डिंग का उपयोग उच्च-शुद्धता और उच्च-स्वच्छता वाले गैस ट्रांसमिशन और वितरण पाइपलाइनों को बड़े प्रवाह के साथ जोड़ने के लिए किया जाता है, लेकिन प्रत्यक्ष वेल्डिंग की अनुमति नहीं है। केसिंग जोड़ों का उपयोग किया जाना चाहिए, और वेल्डिंग के दौरान उपयोग की जाने वाली पाइप सामग्री की संरचना में कोई बदलाव नहीं होना चाहिए। यदि बहुत अधिक कार्बन सामग्री वाली सामग्री को वेल्ड किया जाता है, तो वेल्डिंग भाग की वायु पारगम्यता पाइप के अंदर और बाहर गैस को एक दूसरे में घुसने का कारण बनेगी, जिससे गैस पहुंचाने की शुद्धता, सूखापन और सफाई नष्ट हो जाएगी, जिससे गंभीर परिणाम होंगे। और उत्पादन की गुणवत्ता को प्रभावित करते हैं।

संक्षेप में, उच्च शुद्धता वाली गैस और विशेष गैस ट्रांसमिशन पाइपलाइनों के लिए, एक विशेष रूप से उपचारित उच्च शुद्धता वाले स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए, जो उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइन प्रणाली (पाइपलाइन, पाइप फिटिंग, वाल्व, वीएमबी, वीएमपी सहित) पर कब्जा कर लेता है। उच्च शुद्धता गैस वितरण में महत्वपूर्ण मिशन।