अर्धचालकों के लिए उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपिंग का महत्व

As अर्धचालकऔर माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक तकनीकें उच्च प्रदर्शन और उच्च एकीकरण की ओर विकसित होती हैं, इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैसों की शुद्धता पर उच्च आवश्यकताएं रखी जाती हैं। उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपिंग तकनीक उच्च शुद्धता वाली गैस आपूर्ति प्रणाली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है। यह उच्च शुद्धता वाली गैसों को वितरित करने की प्रमुख तकनीक है जो गैस उपयोग बिंदुओं तक आवश्यकताओं को पूरा करती है जबकि अभी भी योग्य गुणवत्ता बनाए रखती है।

उच्च शुद्धता पाइपिंग प्रौद्योगिकी में प्रणाली का सही डिजाइन, पाइप फिटिंग और सहायक सामग्री का चयन, निर्माण और स्थापना और परीक्षण शामिल हैं।

01गैस ट्रांसमिशन पाइपिंग की सामान्य अवधारणा

सभी उच्च शुद्धता और उच्च स्वच्छता वाली गैसों को पाइपलाइनों के माध्यम से टर्मिनल गैस पॉइंट तक पहुँचाया जाना चाहिए। गैस के लिए प्रक्रिया गुणवत्ता आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, जब गैस निर्यात सूचकांक निश्चित होता है, तो पाइपिंग सिस्टम की सामग्री के चयन और निर्माण गुणवत्ता पर ध्यान देना अधिक आवश्यक होता है। गैस उत्पादन या शुद्धिकरण उपकरण की सटीकता के अलावा, यह पाइपलाइन प्रणाली के कई कारकों से काफी हद तक प्रभावित होता है। इसलिए, पाइपों के चयन को प्रासंगिक शुद्धिकरण उद्योग सिद्धांतों का पालन करने और ड्राइंग में पाइप की सामग्री को चिह्नित करने की आवश्यकता है।

02गैस परिवहन में उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइनों का महत्व

उच्च शुद्धता वाले गैस परिवहन में उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइनों का महत्व स्टेनलेस स्टील गलाने की प्रक्रिया के दौरान, प्रत्येक टन लगभग 200 ग्राम गैस को अवशोषित कर सकता है। स्टेनलेस स्टील के प्रसंस्करण के बाद, न केवल इसकी सतह पर विभिन्न प्रदूषक चिपके रहते हैं, बल्कि इसकी धातु की जाली में एक निश्चित मात्रा में गैस भी अवशोषित हो जाती है। जब पाइपलाइन से हवा का प्रवाह गुजरता है, तो धातु द्वारा अवशोषित गैस का हिस्सा फिर से हवा के प्रवाह में प्रवेश करेगा और शुद्ध गैस को प्रदूषित करेगा।

जब पाइप में हवा का प्रवाह बंद हो जाता है, तो पाइप से गुजरने वाली गैस पर दबाव सोखना बनता है। जब हवा का प्रवाह बंद हो जाता है, तो पाइप द्वारा सोख ली गई गैस दबाव में कमी विश्लेषण बनाती है, और विश्लेषण की गई गैस भी पाइप में शुद्ध गैस में अशुद्धता के रूप में प्रवेश करती है।

साथ ही, सोखना और विश्लेषण चक्र पाइप की भीतरी सतह पर धातु को एक निश्चित मात्रा में पाउडर बनाने का कारण बनेगा। यह धातु धूल कण पाइप में शुद्ध गैस को भी प्रदूषित करता है। पाइप की यह विशेषता बहुत महत्वपूर्ण है। परिवहन की जाने वाली गैस की शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए, न केवल यह आवश्यक है कि पाइप की भीतरी सतह में अत्यधिक चिकनाई हो, बल्कि यह भी आवश्यक है कि इसमें उच्च पहनने का प्रतिरोध हो।

जब गैस में संक्षारक गुण बहुत ज़्यादा होते हैं, तो पाइपिंग के लिए संक्षारण-रोधी स्टेनलेस स्टील पाइप का इस्तेमाल किया जाना चाहिए। अन्यथा, संक्षारण के कारण पाइप की भीतरी सतह पर संक्षारण के धब्बे दिखाई देंगे। गंभीर मामलों में, धातु के बड़े टुकड़े छिल जाएंगे या उनमें छेद भी हो जाएगा, जिससे परिवहन की जा रही शुद्ध गैस दूषित हो जाएगी।

03पाइप सामग्री

पाइप की सामग्री का चयन उपयोग की ज़रूरतों के अनुसार किया जाना चाहिए। पाइप की गुणवत्ता आम तौर पर पाइप की भीतरी सतह की खुरदरापन के अनुसार मापी जाती है। खुरदरापन जितना कम होगा, कणों को ले जाने की संभावना उतनी ही कम होगी। आम तौर पर तीन प्रकारों में विभाजित:

कोई हैईपी ग्रेड 316एल पाइप, जिसे इलेक्ट्रोलाइटिक रूप से पॉलिश किया गया है (इलेक्ट्रो-पॉलिश)। यह संक्षारण प्रतिरोधी है और इसकी सतह खुरदरी नहीं है। Rmax (अधिकतम शिखर से घाटी की ऊँचाई) लगभग 0.3μm या उससे कम है। इसमें सबसे अधिक समतलता है और माइक्रो-एडी धाराओं का निर्माण करना आसान नहीं है। दूषित कणों को हटा दें। प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली प्रतिक्रिया गैस को इस स्तर पर पाइप किया जाना चाहिए।

एक हैबीए ग्रेड 316एलपाइप, जिसे ब्राइट एनील द्वारा उपचारित किया गया है और अक्सर उन गैसों के लिए उपयोग किया जाता है जो चिप के संपर्क में हैं लेकिन प्रक्रिया प्रतिक्रिया में भाग नहीं लेते हैं, जैसे कि GN2 और CDA। एक एपी पाइप (एनीलिंग और पिकिंग) है, जिसे विशेष रूप से उपचारित नहीं किया जाता है और आमतौर पर बाहरी पाइपों के दोहरे सेट के लिए उपयोग किया जाता है जिन्हें गैस आपूर्ति लाइनों के रूप में उपयोग नहीं किया जाता है।

04 पाइपलाइन निर्माण

पाइप के मुंह का प्रसंस्करण इस निर्माण प्रौद्योगिकी के प्रमुख बिंदुओं में से एक है। पाइपलाइन की कटिंग और प्रीफैब्रिकेशन स्वच्छ वातावरण में किया जाता है, और साथ ही, यह सुनिश्चित किया जाता है कि काटने से पहले पाइपलाइन की सतह पर कोई हानिकारक निशान या क्षति न हो। पाइपलाइन को खोलने से पहले पाइपलाइन में नाइट्रोजन फ्लशिंग की तैयारी की जानी चाहिए। सिद्धांत रूप में, उच्च शुद्धता और उच्च सफाई वाले गैस संचरण और वितरण पाइपलाइनों को बड़े प्रवाह के साथ जोड़ने के लिए वेल्डिंग का उपयोग किया जाता है, लेकिन प्रत्यक्ष वेल्डिंग की अनुमति नहीं है। आवरण जोड़ों का उपयोग किया जाना चाहिए, और उपयोग की जाने वाली पाइप सामग्री को वेल्डिंग के दौरान संरचना में कोई बदलाव नहीं होना चाहिए। यदि बहुत अधिक कार्बन सामग्री वाली सामग्री को वेल्डेड किया जाता है, तो वेल्डिंग भाग की वायु पारगम्यता पाइप के अंदर और बाहर गैस को एक दूसरे में घुसने का कारण बनेगी, जिससे संवहन गैस की शुद्धता, सूखापन और सफाई नष्ट हो जाएगी, जिससे गंभीर परिणाम होंगे और उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित होगी।

संक्षेप में, उच्च शुद्धता वाली गैस और विशेष गैस संचरण पाइपलाइनों के लिए, विशेष रूप से उपचारित उच्च शुद्धता वाले स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए, जो उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइन प्रणाली (पाइपलाइनों, पाइप फिटिंग, वाल्व, वीएमबी, वीएमपी सहित) को उच्च शुद्धता वाले गैस वितरण में एक महत्वपूर्ण मिशन प्रदान करता है।